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上海隐冠半导体技术股份有限公司

压电封装致动器

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A5型压电预压致动器

1000N推力

10亿次使用寿命的压电陶瓷

亚纳米级分辨率

结构简单，体积小巧

适用高真空环境10⁻⁵Pa
C5型压电预压致动器

1000N推力

10亿次使用寿命的压电陶瓷

亚纳米级分辨率

结构简单，体积小巧

适用高真空环境10⁻⁵Pa

集成球形端头
B5型压电预压致动器

1000N推力

10亿次使用寿命的压电陶瓷

亚纳米级分辨率

结构简单，体积小巧 

适用高真空环境10⁻⁵Pa

螺孔接口，可选配平面端头和球形端头    
C7系列压电预压致动器

2000N推力

10亿次使用寿命的压电陶瓷

亚纳米级分辨率

结构简单，体积小巧 

适用10⁻⁵Pa及以下高真空环境

集成球形端头
C001型压电预压致动器

2000N推力

10亿次使用寿命陶瓷

开环分辨率可达0.06nm

磷青铜外壳，无磁

结构简单，体积小巧

适用高真空环境10-7Pa
B7系列压电预压致动器

2000N推力

10亿次使用寿命的压电陶瓷

亚纳米级分辨率

结构简单，体积小巧 

适用高真空环境10⁻⁵Pa

螺孔接口，可选配平面端头和球形端头    

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