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隐冠半导体成立于2019年,是一家专注半导体装备及高端装备精密运动系统及核心零部件研发与生产的高科技创新型企业。公司已荣获国家级“专精特新”重点小巨人企业称号,集团拥有有效专利数量超过270件

具备垂直整合能力

从核心零部件研发到精密运动系统集成,掌握核心技术自主权,提供优越、可靠的解决方案。

隐冠利用精密运动控制与检测领域的技术优势,持之以恒研发新技术。公司现已构建起”压电驱动+磁悬浮技术+真空级系统集成”的三大核心技术支柱,形成多品种多系列的量产精品,着力解决半导体装备关键核心部件的产业化问题。

解决方案

  • 泛半导体平台
  • 压电平台
  • 真空平台
  • 量测平台
  • 键合平台

运动台产品

单轴运动台
  • 电动旋转运动台
  • 气浮旋转运动台
  • 气浮重力补偿垂向位移台
  • 磁浮重力补偿垂向位移台
  • 重载垂向平移位移台
  • 精密直线位移台
多轴运动台
  • 双Z轴多轴微动台
  • 单Z轴多轴微动台
  • 磁浮式多轴运动台
  • 复合式运动台
  • 堆叠式三轴运动台
  • 堆叠式四轴运动台
  • 堆叠式七轴运动台
双轴运动台
  • 两轴交叉十字式运动台
  • 两轴平面式运动台
  • 两轴平面中空式运动台
  • 两轴旋转运动台
  • 磁浮两轴垂向与旋转运动台
  • 高性能两轴垂向与旋转运动台

必选产品

光电检测产品

多轴激光测量与应用平台

光纤对准模组

传感器产品

电涡流传感器

光栅尺

压电致动产品 查看更多

压电致动器

放大致动器

预应力致动器

微步电机

惯性电机

特种电机产品 查看更多

磁浮式音圈电机

磁浮重力补偿器

水冷式音圈电机

盘式电机模组

动铁直线电机模组

控制器产品

运动控制系统

静电吸盘控制器

真空泵控制器

选配产品

核心零部件产品 查看更多

陶瓷吸盘 

E-Pin

静电吸盘

长条镜、方镜、气浮垫

高精密减振隔振产品

压电减振台

平衡质量减振产品

Mass Damper产品

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