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压电材料

压电材料可以因机械变形产生电场,也可以因电场作用产生机械变形,这种固有的机-电耦合效应使得压电材料在工程中得到了广泛的应用。例如,主动减振、噪声控制、无损检测和超声成像等。

隐冠半导体压电器件使用锆钛酸铅(PZT)材料制造,能够驱动机械器件,实现精确定位。

主要特点

适合于精密运动

广泛的应用领域

适合于真空环境,不受电磁干扰

具有一定的机械强度,较高的抗压性

主要应用
光学平台
精密半导体设备
精密医疗检测设备
技术参数
符号 YGP-51 YGP-51A YGP-51H YGP-51G YGP-P84 YGP-P81 单位
电性能 (误差±15%)
介电常数 ε33T 1900 2600 4200 1800 1600 1400
介电损耗 tgδ <2.5 <2.5 <2.5 1.50 0.50 0.30 %
机电性能(误差±5%)
机电耦合系数 (误差±5%) Kp 0.65 0.66 0.69 0.62 0.54 0.55 %
K31 0.37 0.39 0.42 0.35 0.41 0.35 %
K33 0.72 0.77 0.78 0.69 0.56 0.65 %
KT 0.50 0.48 0.50 0.49 0.41 0.46 %
压电常数 d31 -320 -220 -300 -220 -230 -120 10-12 C/N
d33 440 560 750 400 450 270 10-12 C/N
g31 -11 -10 -9 -10.5 -10 -11.5 10-3 Vm/N
g33 17.8 22.3 16.8 24 17.2 26 10-3 Vm/N
频率常数 Np 2010 1980 2000 2080 2040 2235 kHz·mm
Nt 1950 2040 2030 2010 2000 2050 kHz·mm
N31 1400 1400 / 1400 1300 1340 kHz·mm
N33 1500 1350 / 1450 1250 1200 kHz·mm
物理特性 (误差±5%)
机械品质因数 Qm 80 90 60 50 800 2200
密度 ρ 7.74 7.85 7.75 7.78 7.79 7.8 103kg/m³
弹性柔度 sE11 17 16 17 17 16 12 10-12 m²/N
sE33 21 19 21 20 18 14.6 10-12 m²/N
居里温度 Tc 320 300 190 360 320 310 °C
工艺特性
烧结温度 Ts 1260 1260 1260 1260 1260 1260 °C
应变(@20kv/cm) 1.5‰ 1.5‰ 1.5‰ 1.5‰ 1.5‰ 1.5‰
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