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惯性电机驱控
PAB-D25低压重载叠堆型压电陶瓷致动器

15000N推力

亚纳米分辨率

驱动电压 0~ +1000V

聚烯烃收缩套管封装保证绝缘性能

适用于高真空环境10-9 hPa

高居里温度
PAB-D25高压重载叠堆型压电陶瓷致动器

15000N推力

亚纳米分辨率

驱动电压 0~ +1000V

聚烯烃收缩套管封装保证绝缘性能

适用于高真空环境10-9 hPa

高居里温度
单片型压电陶瓷致动器

交流寿命10⁹次     

驱动电压 -20 ~ +150V

微秒级响应     

适用于高真空环境10⁻⁶ Pa

亚纳米分辨率     

高居里温度230°C
单片圆形压电陶瓷致动器

交流寿命10⁹次

结构紧凑

微秒级响应  

适用于高真空环境10⁻⁶Pa

亚纳米分辨率

高居里温度230°C

驱动电压 -20 ~ +150V
PANL 系列微步电机模组

纳米级步进精度

重复精度高

微秒级响应

理论无限行程

断电自锁
PAS系列 剪切型压电陶瓷叠堆

高使用寿命

亚纳米分辨率

驱动电压-250~+250V

陶瓷封装保证绝缘性能

适用于高真空环境10 -7Pa

高居里温度310℃

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