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单片型压电陶瓷

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惯性电机驱控

单片型压电陶瓷致动器

交流寿命10⁹次

驱动电压 -20 ~ +150V

微秒级响应

适用于高真空环境10⁻⁶ Pa

亚纳米分辨率

高居里温度230°C

单片圆形压电陶瓷致动器

交流寿命10⁹次

结构紧凑

微秒级响应

适用于高真空环境10⁻⁶Pa

亚纳米分辨率

高居里温度230°C

驱动电压 -20 ~ +150V

方形带孔压电陶瓷致动器

交流寿命10⁹次

结构紧凑

微秒级响应

适用于高真空环境10^-6Pa

亚纳米分辨率

高居里温度230°C

驱动电压 -20~+150V

PAA - R 系列单片环形压电陶瓷致动器

交流寿命 10⁹次

结构紧凑

微秒级响应

适用于高真空环境 10⁻⁶Pa

亚纳米分辨率

高居里温度 230°C

驱动电压 -20~+150V

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