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PMIN-C24X系列惯性电机
PMIN系列惯性电机是基于粘滑式驱动逻辑的一种直线运动定位装置,可以达到毫米级的运动行程和纳米级的定位精度,具有体积小、刚度高和快速定位等优势,电机内部集成高精度闭环传感器,非常适合用于纳米微位移控制系统。
主要特点

高速位移

高分辨率

体积小巧

应用高真空环境

主要应用
光学平台
精密半导体设备
精密医疗检测设备
机械尺寸图
技术参数
PMIN-C24X-20A PMIN-C24X-30A PMIN-C24X-50A PMIN-C24X-110A 单位 公差
运动轴 X X X X -
运动行程 20 30 50 110 mm
传感器 线性光栅尺 线性光栅尺 线性光栅尺 线性光栅尺 -
开环分辨率 1 1 1 1 nm
传感器分辨率 40 40 40 40 nm
传感器信号 AqB (细分盒输出) AqB (细分盒输出) AqB (细分盒输出) AqB (细分盒输出) -
最小位移量 - - - - nm 典型值
单向重复性 500 500 500 500 nm 典型值
双向重复性 800 1000 800 800 nm 典型值
俯仰角 50 50 50 50 arcsec 典型值
偏摆角 50 50 50 50 arcsec 典型值
闭环运动速度* 10 10 10 10 mm/s 最大值
机械性能
最大垂向负载 30 30 30 30 N 最大值
导轨类型 交叉滚柱导轨
驱动性能
电机类型 粘滑式惯性电机
驱动力 1.5 1.5 1.5 1.0 N 典型值
保持力 2.0 2.0 2.0 1.5 N 最小值
工作电压 0 - 70 0 - 70 0 - 70 0 - 70 V
其他
工作温度范围 0 - 50 0 - 50 0 - 50 0 - 50 °C
驱动频率范围 2k - 15k (推荐 5k - 7kHz) kHz
材料 铝合金 / 不锈钢 (可选型) 铝合金 / 不锈钢 (可选型) 铝合金 / 不锈钢 (底座默认不锈钢) 铝合金 / 不锈钢 (底座默认不锈钢) -
电缆长度 2 2 2 2 m ±0.02m
电机接口 Sub - D15 公头 Sub - D15 公头 Sub - D15 公头 Sub - D15 公头
外观尺寸
A 24 24 24 24 mm
B 11.5 11.5 11.5 11.575 mm
L 45 45 75 180 mm

*PMIN-C24X-20A/ PMIN-C24X-30A/ PMIN-C24X-50A型号默认为不锈钢底座,
如有轻量化需求可更换铝合金版本-AL
-AL:铝合金底座
* 实际运动速度取决于驱控电路功率
* 最大垂向负载:30N 条件为负载质心处于电机中心位置
所有规格参数基于室温(22±3℃)环境。
使用注意事项:
1. 须在洁净的室内环境中使用该电机;
2. 须配套使用隐冠公司提供的驱控器。
定制信息

引脚定义

DB15 引脚定义说明

PIN 定义
1 Sin+
2 Sin-
3 Cos+
4 Cos-
5 Index+
6 Index-
7 /
8 HV-
9 GND
10 Vs
11 GND
12 Vs
13 /
14 /
15 HV+
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